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¡®ÀϺ»¼öÃâ±ÔÁ¦ ´ëÀÀ¡¯¡¦°æ±âµµ, ¼ÒÀ硤ºÎǰ¡¤Àåºñ Áß¼Ò±â¾÷ Áö¿ø
°æ±âµµ´Â 3ÀÏ °æ±âµµÃ» ºÏºÎû»ç »óȲ½Ç¿¡¼­  'ÀϺ»¼öÃâ±ÔÁ¦ ´ëÀÀ 4Â÷ TFȸÀÇ'¸¦ °³ÃÖÇß´Ù.

[¹Ì·¡·Î½Å¹®] È²´ë¿ø ±âÀÚ = °æ±âµµ³» ¼ÒÀç·ºÎǰ·Àåºñ Áß¼Ò±â¾÷µéÀÌ °æ±âµµ°¡ ÃßÁøÇϴ ‘ÀϺ»¼öÃâ±ÔÁ¦ ´ëÀÀ»ç¾÷’ÀÇ µµ¿òÀ¸·Î ±â¼ú µ¶¸³ ½ÇÇö¿¡ ÇÑ °ÉÀ½ ´õ ´Ù°¡°¬´Ù.

È­¼º½Ã¿¡ À§Ä¡ÇÑ ¢ß½áºê´Â 5³â ÀÌ»óÀÇ ¿¬±¸¸¦ °ÅµìÇØ ‘Ç×°ø¿ë ¾Ë·ç¹Ì´½ ÆÈ·¹Æ®’¸¦ °³¹ß, ±¹»êÈ­¿¡ ¼º°øÇÑ ¾÷ü´Ù.

ÆÈ·¹Æ®´Â ÀÏÁ¾ÀÇ ¹Þħ´ë·Î °í°´µéÀÇ ¼öÇϹ°À» Ç×°ø±â±îÁö ¿î¹ÝÇϴµ¥ ¾²À̴ Á¦Ç°ÀÌ´Ù. ¢ß½áºêÀÇ Á¦Ç°Àº ±¹Åä±³ÅëºÎ·ÎºÎÅÍ ‘Ç×°ø±â Å¾ÀçÀåºñ±â¼ú Ç¥ÁØÇ° Çü½Ä½ÂÀÎ(KTSO)’À» È¹µæ, ‘Ç×°øºÐ¾ß ¼ÒÀçºÎǰ ±¹»êÈ­ 1È£ ±â¾÷’À̶ó´Â Å¸ÀÌÆ²À» ¾ò¾ú´Ù.

µµ´Â ¢ß½áºê¸¦ ÀϺ» ¼öÃâ±ÔÁ¦¿¡ ´ëÀÀÇØ ÃßÁøÇϴ ¼ÒÀç·ºÎǰ·Àåºñ ±¹»êÈ­¸¦ À§ÇѠƯ·ÊÁö¿ø »ç¾÷¿¡ ¼±Á¤, 4¾ï ¿øÀ» Áö¿øÇØ ¹Ì±¹½ÃÀå ÁøÃâ¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ÀÎÁõºñ¿ë, ¿øºÎÀÚÀç ±¸ÀÔÀ» À§ÇÑ ¿îÀüÀڱݠµî¿¡ È°¿ëÇϵµ·Ï Çß´Ù.

È­¼º½Ã ¼ÒÀç Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® »ý»ê ¾÷ü ¢ßµ¿Áø½ê¹ÌÄÍÀº ±ØÀڿܼ±(EUV)¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®ÀÇ ±¹³» ÃÖÃÊ »ý»êÀ» ¸ñÇ¥·Î ¿¬±¸°³¹ß¿¡ ¸ôµÎÇϰí ÀÖÀ¸¸ç ÇöÀç Á¶¼ºÀ» ÃßÁø ÁßÀΠÃÑ 18¸¸§³ ±Ô¸ðÀÇ ‘µ¿ÁøÀϹݻê¾÷´ÜÁö’¿¡ ÇØ´ç »ý»ê½Ã¼³À» È®ÃæÇÒ °èȹÀÌ´Ù. Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®´Â ¹ÝµµÃ¼±âÆÇ Á¦ÀÛ¿¡ ¾²À̴ °¨±¤¾× Àç·á·Î ÀϺ» ¼öÃâ±ÔÁ¦ ´ë»ó ÇٽɼÒÀç Áß Çϳª´Ù.

À̸£¸é ³»³â Áß »ý»ê½Ã¼³À» ÁذøÇØ ±ØÀڿܼ±(EUV)¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®ÀÇ º»°Ý »ý»ê¿¡ µé¾î°¥ Àü¸ÁÀÌ´Ù.

ÀϺ»ÀÇ ¼öÃâ±ÔÁ¦ Á¶Ä¡¿¡ ´ëÀÀÇϱâ À§ÇØ 9¿ùºÎÅÍ ¿¬±¸°³¹ß 225¾ï ¿ø, ÀÚ±ÝÁö¿ø 100¾ï ¿ø, Àü·«¼ö¸³ 1¾ï ¿ø ÃÑ 326¾ï ¿ø ±Ô¸ðÀÇ Ãß°¡°æÁ¤ ¿¹»êÀ» Æí¼º, ¼öÀÔ½ÃÀå ´Ùº¯È­¿Í Ã·´Ü±â¼ú ±¹»êÈ­¸¦ µµ¸ðÇϰí ÀÖ´Ù.

¿ÃÇØ ¼ÒÀç·ºÎǰ·Àåºñ ±¹»êÈ­ Æ¯·Êº¸ÁõÀ¸·Î 119°Ç 352¾ï ¿øÀ» Áö¿øÇØ °æ¿µ¾ÈÁ¤À» µµ¸ðÇßÀ¸¸ç ±Û·Î¹ú ¿¬°è ºÎǰ±¹»êÈ­ Áö¿ø»ç¾÷À» ÅëÇØ ¹ÝµµÃ¼ ¼¾¼­ Á¦Á¶¾÷ü ¢ß¸â½ºÆÑ µî 11°³ À¯¸Á ±â¾÷À» ¼±Á¤, ºÎǰ°³¹ß ¹× ½ÃÁ¦Ç° Á¦ÀÛ µî ±â¼ú°³¹ß¿¡ ¼Ò¿äµÇ´Â ºñ¿ëÀ» ÃÖ´ë 1¾ï ¿ø±îÁö Áö¿øÇÑ´Ù.

½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ ±¹»êÈ­ ¿¬±¸Áö¿ø»ç¾÷, ¼ÒÀçºÎǰ ±¹»êÈ­ ÆÝµå µî ´Ù¾çÇÑ ÀϺ»¼öÃâ±ÔÁ¦ ´ëÀÀ»ç¾÷À» ½ÃÇà ÁßÀÌ´Ù.

À̰°Àº Á÷Á¢ÀûÀΠÁö¿ø»ç¾÷ ¿Ü¿¡µµ »êÇп¬°ü Çù·ÂÀ» À§ÇÑ ¼ÒÀçºÎǰ ¿¬±¸»ç¾÷´Ü ±¸¼º·¿î¿µ ÀϺ» ¼öÃâ±ÔÁ¦¿¡ µû¸¥ °æ±âµµ °æÁ¦Çö¾È Áø´Ü ¹× ´ëÀÀ¹æ¾È ¸ð»öÀ» À§ÇÑ ¿¬±¸¿ë¿ª, ¼ÒÀç·ºÎǰ»ê¾÷ À°¼º Á¶·Ê µî ±Ùº»ÀûÀΠ»ê¾÷üÁú °³¼±À» À§ÇÑ ½ÃÃ¥µéµµ Áö¼Ó ÃßÁøÇØ¿À°í ÀÖ´Ù.

¿ÀÈļ® °æ±âµµ °æÁ¦½ÇÀåÀº “ÀÌÁ¦ ÀϺ» ¼öÃâ±ÔÁ¦¿¡ ´ëÇÑ ´ëÀÀ Â÷¿øÀ» ³Ñ¾î °æÁ¦·»ê¾÷ Àü¹ÝÀǠüÁúÀ» °³¼±ÇØ ±â¼ú µ¶¸³ °­±¹À¸·Î ¹ßÀüÇØ ³ª°¡¾ß ÇÒ ¶§”¶ó¸ç “°ü°è ºÎ¼­·±â°üµé°ú ±ä¹ÐÈ÷ Çù·ÂÇØ ¿¹»êÀÇ ½Å¼ÓÇÑ ÁýÇà°ú »ç¾÷ÀÇ ³»½Ç Àִ ÃßÁøÀ» µµ¸ðÇØ ³ª°¥ °Í”À̶ó°í ¹àÇû´Ù.

Ȳ´ë¿ø ±âÀÚ  mro@mrro.kr

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